電子行業水質標準
發布時間：2018-09-11
中國電子行業超純水國家標準
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指 標 名 稱 |
一 級 水（EW-1） |
二 級 水（EW-2） |
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電阻率MΩ.CM. （25℃） |
18(95‰時間)不低于17 |
15(95‰時間)不低于13 |
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硅 ≤μg/L |
2 |
10 |
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＞1μm 微粒數 |
0.1 |
5 |
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細菌個數 ≤個/ml |
0.01 |
0.1 |
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銅 ≤μg/L |
0.2 |
1 |
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鋅 ≤μg/L |
0.2 |
1 |
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鎳 ≤μg/L |
0.1 |
1 |
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鈉 ≤μg/L |
0.5 |
2 |
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鉀 ≤μg/L |
0.5 |
2 |
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氯 ≤μg/L |
1 |
1 |
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硝酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
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磷酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
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硫酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
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總有機碳 ≤μg/L |
20 |
100 |