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電子行業水質標準

中國電子行業超純水國家標準

指 標 名 稱

一 級 水(EW-1)

二 級 水(EW-2)

電阻率MΩ.CM. (25℃)

18(95‰時間)不低于17

15(95‰時間)不低于13

硅   ≤μg/L

2

10

>1μm 微粒數

0.1

5

細菌個數 ≤個/ml

0.01

0.1

銅   ≤μg/L

0.2

1

鋅   ≤μg/L

0.2

1

鎳   ≤μg/L

0.1

1

鈉   ≤μg/L

0.5

2

鉀   ≤μg/L

0.5

2

氯   ≤μg/L

1

1

硝酸根  ≤μg/L

1

1

磷酸根  ≤μg/L

1

1

硫酸根  ≤μg/L

1

1

總有機碳 ≤μg/L

20

100